总部设在加州的设计商和制造商的系统公司Tegal Corporation表示，它已经与阿尔卡特子公司微加工系统(AMMS)签署了一项协议，接管阿尔卡特-朗讯集团的深层离子蚀刻反应(DRIE)和增强等离子体化学气相沉积(AMMS)的产品和相关知识产权，协议价值在500万美元。
Tegal表示，接管的产品线和知识产权是为MEMS器件提供实施先进的三维立体晶片杠杆包装应用。
根据协议条款，EMS传感器和集成设备制造商将继续使用AMMS支持的基于DRIE工具的装置，另一方面，Tegal将继续发展该AMMS DRIE生产线，并负责AMMS与客户的联合发展研究机构和学术机构的计划。
